告別報廢心驚肉跳！安澤智能的半導體烤箱數位轉型全攻略：用數據守護每一片晶圓
告別報廢心驚肉跳！安澤智能的半導體烤箱數位轉型全攻略：用數據守護每一片晶圓
安澤智能烤箱聯網，優化志聖設備數位管理，杜絕人為失誤，引領半導體智慧生產。
目錄
前言：熱處理製程——決定良率的關鍵隱形推手
一、 九大核心開發功能：從自動化邁向智慧化
1. 嚴密流程管控與防錯（Process Control）
2. 全方位數位化記錄（Digitalization）
3. 即時監控與異常自動維管（Monitoring）
二、 數位化作業架構：連線模式帶來的穩定邏輯
1. 掃描核對：系統化的第一道防線
2. 同步啟動：排除人為變因
3. 全數據閉環：製程後的數據價值
三、 實戰案例：直擊「智慧戰情室」管理看板
1. 多機台狀態一眼掌握
2. 深度趨勢分析：製程的「數位指紋」
結語：讓您的烤箱學會「說話」，預見零缺陷未來
前言
在動輒數十億美金產值的半導體晶圓廠中，任何一個製程環節的微小偏差都可能導致巨額損失。其中，「熱處理設備」（烤箱）扮演著關鍵角色——無論是黃光微影後的光阻烘烤、封裝階段的材料熟化（Curing），或是關鍵的應力釋放，精準的環境控制是確保晶片穩定性的核心。
安澤智能專注於設備自動化與數據整合，我們深知傳統烤箱依賴人工抄寫、手動調校配方所帶來的隱憂。針對半導體產業需求，我們推出了成熟的烤箱機聯網方案，特別是在志聖（Csun）壓力烤箱的數位化改裝上，已具備大量成功實戰經驗。
一、 九大核心開發功能：從自動化邁向智慧化
我們將烤箱從「單機作業」升級為「系統化管制」，透過以下九大功能，全面封堵人為失誤並提升生產品質：
1. 嚴密流程管控與防錯 (Process Control)
- 一對一Barcode Track In/Out：透過條碼掃描確認物料與機台對應，防止人員誤放機台及誤用程式。
- 自動配方下傳 (Auto Select Recipe)：系統依據產品自動選取對應烘烤參數，杜絕人員誤用烘烤作業程式。
- 邏輯防呆管制：嚴格執行「當批未Track Out，不可再Track In」 以防產品混批，並規範「Track In後10分鐘內需啟動」以提升效率並減少人員操作錯誤。
2. 全方位數位化記錄 (Digitalization)
- 生產履歷雲端化：將Production Process作業記錄儲存於伺服器以利後續查詢。
- 無紙化轉型：取消溫度記錄紙，節省間接成本並達成無紙化企業目標。
3. 即時監控與自動化維管 (Monitoring)
- 系統即時監控：24小時監測作業狀況，防止產生異常作業。
- 異常自動叫修：設備Alarm發生時立即自動通報維修團隊，提升整體作業效率。
- 即時看板管理：提供作業狀況看板，讓管理層即時掌握設備現況。
二、 數位化作業架構：連線模式帶來的穩定邏輯
安澤智能為客戶規劃的作業架構，將生產流程從原本高風險的「離線模式」徹底轉型為「連線模式」。
圖一 OVEN自動化系統作業架構圖
1. 掃描與核對：系統化的第一道防線
在連線模式下，作業員需先進行Barcode掃描。系統會自動進行烤箱編號選擇與狀態確認（綠/黃/紅燈），確保機台處於可作業狀態。
2. 同步與自動啟動：排除人為變因
系統會自動選擇配方組別並與HMI Memory/PLC參數暫存區進行同步核對。
- 核對成功 (Yes)：系統上傳允許訊號，設備自動啟動執行程式。
- 核對失敗 (No)：立即進入問題確認程序（PE/IT介入），防止錯誤產品進入製程。
3. 全數據閉環：製程後的數據價值
當設備運轉（Device RUN）時，系統會自動下載並記錄關鍵數據，包含：
- 生產資料：配方組別、烘烤時間、溫度數值、壓力數值。
- 異常資料：異常編碼、異常名稱。製程結束後，數據自動上傳至連線控制系統存檔；若製程中發生異常，系統將執行強制停機，確保損失不擴大。
三、 實戰案例：直擊「智慧戰情室」管理看板
數據的價值在於「可視化」。安澤智能實作的壓力烤箱數位戰情室，讓管理者在遠端即可掌握廠區內所有設備的真實脈動：
圖二 戰情室電子化看板實例
1. 多機台狀態一眼掌握
在看板頂部，您可以即時監看各機台（如OAK003、OAK008）的製程步序、執行時間計時以及腔體出風溫度，確保每一台烤箱都依照計畫運作。
2. 深度趨勢分析：製程的「數位指紋」
看板下方的歷史趨勢圖能精確抓取壓力烤箱內的各維度數據：
- 多點測溫同步監控：同時顯示腔體內左前、右前、出風、迴風等多個點位的溫度曲線。
- 壓力與循環風扇監測：整合腔體加壓壓力與風扇溫度曲線，確保物理環境維持穩定。
結語：讓您的烤箱學會「說話」
安澤智能不只提供聯網技術，更具備深厚的半導體應用工程背景。我們能為您縮短導入週期，將現場經驗轉化為系統規則，實現真正透明、高效、零失誤的智慧工廠。
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